Alternativer Identifier:
-
Verwandter Identifier:
-
Ersteller/in:
Weber, Heiko B. https://orcid.org/0000-0002-6403-9022 [University of Erlangen-Nuremberg]

Beitragende:
-
Titel:
Research data to the manuscript "Electrochemical etching strategy for shaping monolithic 3D structures from 4H-SiC wafers", in: Scientific Reports 13:19086 (2023), DOI: 10.1038/s41598-023-46110-2
Weitere Titel:
-
Beschreibung:
-
Schlagworte:
Silicon carbide
electrochemical etching
process technology
Zugehörige Informationen:
-
Sprache:
-
Herausgeber/in:
Erstellungsjahr:
Fachgebiet:
Physics
Objekttyp:
Dataset
Datenquelle:
-
Verwendete Software:
-
Datenverarbeitung:
-
Erscheinungsjahr:
Lizenz:
Rechteinhaber/in:
Förderung:
Deutsche Forschungsgemeinschaft - (429529648)
Name Speichervolumen Metadaten Upload Aktion

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Status:
Publiziert
Eingestellt von:
cfca9b7f89da67c364a15e8a59e57a0c
Erstellt am:
Archivierungsdatum:
2023-11-04
Archivgröße:
29,1 MB
Archiversteller:
cfca9b7f89da67c364a15e8a59e57a0c
Archiv-Prüfsumme:
9950d449cab856798d6bb98358ea541c (MD5)
Ende des Embargo-Zeitraums:
-